Dépôt institutionnel de l'universite Freres Mentouri Constantine 1

Caracterisation de films minces déposés par plasma RCER à partir de diphenylemethèesilane (DPMS) en vue de l'obtention d'un materiau à faible permitivité (low k) pour des applications microelectroniques

Caracterisation de films minces déposés par plasma RCER à partir de diphenylemethèesilane (DPMS) en vue de l'obtention d'un materiau à faible permitivité (low k) pour des applications microelectroniques

Bouledjnib Leila; Sahèi S.
URI: http://depot.umc.edu.dz/handle/123456789/5891
Date: 2017-01-01

Description:

67 f.

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Format: PDF
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