Caracterisation de films minces déposés par plasma RCER à partir de diphenylemethèesilane (DPMS) en vue de l'obtention d'un materiau à faible permitivité (low k) pour des applications microelectroniques

Bouledjnib Leila; Sahèi S.

dc.contributor.author	Bouledjnib Leila
dc.contributor.author	Sahèi S.
dc.date.accessioned	2022-05-24T09:55:59Z
dc.date.available	2022-05-24T09:55:59Z
dc.date.issued	2017-01-01
dc.identifier.uri	http://depot.umc.edu.dz/handle/123456789/5891
dc.description	67 f.
dc.language.iso	fre
dc.subject	Electronique
dc.title	Caracterisation de films minces déposés par plasma RCER à partir de diphenylemethèesilane (DPMS) en vue de l'obtention d'un materiau à faible permitivité (low k) pour des applications microelectroniques
dc.coverage	01 Disponible à la salle de recherche 02 Disponibles au magazin de la bibliothèque centrale 01 CD