Etude de la redistribution et de l'activation après traitement thermique des dopants dans des films Si LPCVD dopés bore et codopes bore azote à de fortes concentrations

Date

2017-01-01

Auteur

Mahamdi Ramdane

Metadata

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URI

http://hdl.handle.net/123456789/9181

Collections

• Magistère (Electronique) [201]